[VIP第1年] 指数:3
净化工程中的纯气的影响及难点分析在IC的加工与制造封装中，净化工程高纯的气体可作为保护气、置换气、运载气、反应气等，为保证芯片加工与封装的成品率和可靠性，其中一个重要的环节，就是严格控制加工过程中所用气体的纯度。所谓"高纯"或"超纯"也不是无休止的要求纯而又纯，而是指把危害IC性能、成品率和可靠性的有害杂质及尘粒必须减少到一定值以下。例如在IC封装过程中，把待减薄的晶圆，划后待粘片的晶圆，粘片固化后待压焊的引线框架(LF)与芯粒放在高纯的氮气储藏柜中可有效地防止污染和氧化；把高纯的C02气体混合人高纯水中，可产生一定量的H+，这样的混合水具有一定的消除静电吸附作用，代划片工序使用可有效地去除划痕内和芯粒表面的硅粉杂质，以此来减少封装过程中的芯粒浪费。
分析净化工程中无-尘车间的环境控制关于日常消D液消D，每天生产结束后，用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液擦拭机台、桌面、门窗、墙壁等，用3%～5%的来苏儿对地面擦拭消D。每3天生产结束后，用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液对洁净室内所-有设施表面及顶棚、照明等表面进行擦拭消D，3%～5%的来苏儿对地面进行消D，目的是杀-死因生产过程中产生的细-菌繁殖体，控制洁净室内微生物含量。这些措施jin能控制洁净室内空气中的细-菌量及杂菌种类，如果霉菌较多，就要先用5%石碳酸喷洒室内，然后用甲醛熏蒸才能达到无-菌效-果，而且只有这样才能杀-死细君、杂菌芽孢。每个生产周期结束，下个周期生产前对有无-菌要求的洁净室先-进行消D液消D，检测洁净室内尘埃粒子数符合规定后，再对洁净室内进行甲醛气体熏蒸，从长期检测的结果来看，这种环境灭-菌方法效-果很-好。
文章来源地址: http://huanbao.m.chanpin818.com/kqjhsb/deta_26585247.html
免责声明： 本页面所展现的信息及其他相关推荐信息，均来源于其对应的用户，本网对此不承担任何保证责任。如涉及作品内容、 版权和其他问题，请及时与本网联系，我们将核实后进行删除，本网站对此声明具有最终解释权。
