洁净工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
净化工程中的难点分析净化工程有它的特殊性,对于这样的厂房它的特点非常明显,个造价特点贵,随着半导体工程的发展,这样对于工厂的品质要求越来越高,TFT工厂也是一样,TFT工厂本身的玻璃基板的尺寸越来越大,从原来的一代线到现在的主流八代线,随着基本尺寸大造价越来越高。第二个特点是净化工程工期短,由于半导体工厂,TFT工厂的特点投资特点大,所有的建设方尽快短期进行生产,取得投资回报,作为施工单位来讲摆在面前的一个特点就是工期要求非常紧。第三个特点是品质要求非常高,由于电子工厂它对厂房的依赖程度非常高,建厂当中的事故直接导致产品良品率的高低,

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